Hochfrequenz‐Plasmastrahlquellen — Neue Werkzeuge für industrielle teilchenstrahlgestützte Dünnschichtprozesse
Article in Vakuum in Forschung und Praxis (January 1999)
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Article in Vakuum in Forschung und Praxis (January 1999)
Article in Vakuum in Forschung und Praxis (January 1997)