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Vakuumbeschichtung

Overview of attention for book
Cover of 'Vakuumbeschichtung'

Table of Contents

  1. Altmetric Badge
    Book Overview
  2. Altmetric Badge
    Chapter 1 Vakuumbeschichtungsverfahren — Übersicht
  3. Altmetric Badge
    Chapter 2 Bedeutung der Vakuumtechnik für die Beschichtungstechnik
  4. Altmetric Badge
    Chapter 3 Aufdampfen im Hochvakuum
  5. Altmetric Badge
    Chapter 4 Ionenplattieren
  6. Altmetric Badge
    Chapter 5 Ionenzerstäubung von Festkörpern (Sputtering)
  7. Altmetric Badge
    Chapter 6 Teilchenstrahlgestützte Verfahren
  8. Altmetric Badge
    Chapter 7 Erzeugung von Mikrostrukturen an Oberflächen und dünnen Schichten
  9. Altmetric Badge
    Chapter 8 Plasmabehandlungsmethoden
  10. Altmetric Badge
    Chapter 9 Plasmaspritzen
  11. Altmetric Badge
    Chapter 10 Abscheidung aus der Gasphase
Attention for Chapter 6: Teilchenstrahlgestützte Verfahren
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