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Technologie hochintegrierter Schaltungen

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Cover of 'Technologie hochintegrierter Schaltungen'

Table of Contents

  1. Altmetric Badge
    Book Overview
  2. Altmetric Badge
    Chapter 1 Bezeichnungen und Symbole
  3. Altmetric Badge
    Chapter 2 Einleitung
  4. Altmetric Badge
    Chapter 3 Grundzüge der Technologie von Integrierten Schaltungen
  5. Altmetric Badge
    Chapter 4 Schichttechnik
  6. Altmetric Badge
    Chapter 5 Lithographie
  7. Altmetric Badge
    Chapter 6 Ätztechnik
  8. Altmetric Badge
    Chapter 7 Dotiertechnik
  9. Altmetric Badge
    Chapter 8 Reinigungstechnik
  10. Altmetric Badge
    Chapter 9 Der Gesamtprozeß — Architektur und Integration
  11. Altmetric Badge
    Chapter 10 Strukturverkleinerung in der MOS-Technik
Attention for Chapter 10: Strukturverkleinerung in der MOS-Technik
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